株式会社量子技研工業
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■ 液体窒素冷却CCD検出器 ■

CCD素子は、液体窒素冷却方式を使って-120度まで冷却し、ダークノイズのほとんどない環境での計測が可能です。
 真空チャンバー内部には、ガス吸着剤が入っており、後から活性化処理も可能です。ガスの吸着は5年間保障します。
 CCD素子は、PLD(プログラマブルロジックデバイス)を使用して制御しており、制御論理の変更が簡単に可能で、特殊なCCD素子読み出しや、外部同期パルスのカウント動作等が、柔軟に作成可能です。Fe-55の特性X線を用いて感度をキャリブレートして納入致します。  X線やVUV領域については、必要に応じ10-9Torrレベルの高真空ボディの作成が可能です。チャンバ、分光器の形状に合わせて設計致します。
CCDチップについては、E2V Technologies 社のものに対応しており、以下が主な仕様となります。制御用にDOS/Vパソコンが必要で、Windows98に対応します。ソフトウエアはVisual Basic にて作成しており、プログラムの改変についても対応致します。

CCDCCD42-10CCD55-30CCD42-40
ピクセル数2048*5121242*11522048*2048
ピクセルサイズ13.5*13.5μm22.5*22.5μm13.5*13.5μm
検出面積27.6*6.9mm28.17*25.92mm27.6*27.6mm
リードアウトノイズ2〜4e3〜5e2〜4e
(チップ)   
リードアウトノイズ2.5〜4e5〜7e3〜5e
(システム)@42KHz同左同左
量子井戸100ke400ke100ke
冷却温度LN-120°C
 TEガス封止 25℃
 真空封じ切り-70℃以下を目標に開発しています。
チップそれぞれフロントタイプとバックタイプに対応します。
QE別表を参照ください
ADC/ダイナミックレンジ333KHz 16bit又は1MHz 16bitそれぞれ速度は可変です。
素子欠陥Grade 1
暗電流10e/pixel/hour以下

仕様 ]  [ CCD素子のQEカーブ ]  [ CCD素子表 ]  [ 型名表 ]


■サンプルデータ

・Siのラマンデータ